Syftet med denna kurs är att introducera mikro- och nanoteknik utifrån tillämpning och konstruktion.
definiera grundläggande begrepp inom mikro- och nanoteknik, samt aktuator- och sensorteknik,
analysera hur olika fysikaliska fenomen skalar när dimensionerna krymper och hur detta påverkar mikro- och nanosystem,
analysera hur olika fysikaliska fenomen kan utnyttjas för sensor- och aktuatorfunktioner,
argumentera för materialval inom mikro- och nanoteknik utifrån funktionella, produktionstekniska, och ekonomiska faktorer,
förklara tillvägagångssätt, och redogöra för möjligheter och begränsningar med de grundläggande tillverkningstekniker som används inom mikro- och nanotekniken,
förklara och argumentera för valet av olika mikro- och miniatyraktuatorer i olika tillämpningar
förklara och argumentera för valet av olika mikrosensorer i olika tillämpningar.
Kursinnehåll
Skalning av fenomen och egenskaper när dimensionerna krymper. Materialegenskaper och funktion, framförallt rörande kisel. Grundtekniker såsom litografi, deponering, våt- och torretsning, bondning, och viktiga faktorer så som selektivitet, etshastighet och utbyte. Mikrosensorers och mikroaktuatorers funktion och tillämpning. Industriella och ekonomiska aspekter.
Förutsättningar
120 hp inom teknik/naturvetenskap. Ett av alternativen: 1. Fasta tillståndets fysik F och genomgången kurs i Halvledarelektronik, 2. Materialkemi och genomgången kurs i Fasta tillståndets fysik I, 3. Introduktion till materilateknik eller Introduktion till materialvetenskap (10 hp). Engelska 6. (Med en svensk kandidatexamen uppfylls kravet på engelska.)