FFFF11 · Lunds universitet

Process- och komponentteknologi

Ny kurs

Kom igång gratis

Inga tentor än

Ladda upp dina tidigare tentor och få hjälp med att strukturera ditt studiematerial

Få dina tentauppgifter kategoriseradeBli guidad genom ditt studiematerialFå hjälp direkt med teori och tipsHåll koll på dina framsteg

Kurs info

7.5

Språk

Engelska

Nivå

Grundnivå

Fakultet

Lunds tekniska högskola

Lärandemål

Kunskap och förståelse
kunna beskriva tillverkningsprocesser som bygger på mönstring av ytor, deponering av tunna filmer, etsning och dopning
kunna förklara hur dessa processer kan realiseras på nanometerskala
kunna förklara kopplingen mellan val av material/tillverkningsprocess och komponenters funktion och prestanda.
Färdighet och förmåga
kunna utföra grundläggande halvledarprocessning i renrumsmiljö
kunna analysera en specifik komponent och avgöra vilka processteg som krävs för att tillverka den
kunna skriva en välstrukturerade tekniska rapport om halvledarprocessning.
Värderingsförmåga och förhållningssätt
visa förmåga till reflektion över erhållna resultat och insikt i hur ett resultat kan ha påverkats av förenklingar i teoretiska modeller och begränsningar i experimentella uppställningar
visa förmåga att kunna resonera om utmaningar för den industriella utvecklingen i fältet och om behovet av innovationer.

Kursinnehåll

Framställning av halvledarkristaller och wafers (skivor) av olika material - grunden för halvledarprocessning.
Renrumsteknik - hur fungerar ett renrum och vad har det för syften?
Epitaxi av halvledare, inklusive heterostrukturer.
Litografi - tekniker för mönstring av wafers, med UV-ljus/elektroner.
Gränssnitt halvledare/isolator (MOS-strukturer) och hur dessa skapas genom oxidering eller deponering.
Deponeringsmetoder för tunna filmer av isolatorer och metaller.
Etsning: våt och torr, via syror/baser och olika typer av plasma.
Dopning: Hur små mängder av störatomer introduceras i en halvledarkristall via diffusion eller implantation.
Integration av mekanik och elektronik: accelerationsmätare och andra mekaniska funktioner.
Processintegration - varför är CMOS så framgångsrikt och hur får man miljarder transistorer i en CPU att alla samtidigt fungera?
Hur tillverkas och fungerar lysdioder, solceller, elektroniska minnen, sensorer och lasrar?
Under ett antal laborationer, kommer några av de genomgångna processtegen att användas för tillverkning av fungerande komponenter. Då det är mycket viktigt att arbete med halvledarstrukturer sker i en extremt ren och dammfri miljö kommer stor tonvikt att läggas vid arbetsmetodik i renrum.