FKA196 · Chalmers tekniska högskola
Grunderna i mikro- och nanoteknologi
Ny kurs
Inga tentor än
Ladda upp dina tidigare tentor och få hjälp med att strukturera ditt studiematerial
Få dina tentauppgifter kategoriseradeBli guidad genom ditt studiematerialFå hjälp direkt med teori och tipsHåll koll på dina framsteg
Kurs info
HP
7.5
Språk
Engelska
Institution
mikroteknologi och nanovetenskap
Lärandemål
- Beskriva och ordna materialvetenskapliga aspekter och fysikaliska principer inom nanoteknik
- Undersöka och belysa sambandet mellan bearbetning, materialstruktur, vilket egenskaper och prestanda för enheterna
- Välja rätt material, deponeringsteknik och karakteriseringsmetod för en viss uppgift
- Beskriva och bedöma fördelar och begränsningar av olika litografi-och tunnfilmsdeponeringstekniker;
- Översiktligt förstå utvecklingen och beskriva de senaste trenderna inom nanoteknik
- Presentera en kritisk sammanfattning av en ny och lovande nano-tillverkningsteknik eller produkt/komponent vid en studentkonferens
- Förstå och beskriva de allmänna regler och säkerhetsrutiner som krävs för att arbeta i renrumsmiljö och med farliga kemikalier
- Kursen ger en grund för fortsatta studier på grundnivå och avancerad nivå, för examensarbete, och ger en yrkesmässig förberedelse inom området nanoteknik.
Kursinnehåll
Kärnan i kursen ägnas åt teori och praktik av mikro- och nano-tillverkningsmetoder, en av de viktigaste beståndsdelarna i den moderna Nanotekniken. Moderna mönster överföringstekniker som e-stråle- eller röntgenlitografi och olika tunnfilmsdeponeringsmetoder inklusive termisk-förångning, sputtring, kemisk-förångningsdeposition och epitaxi behandlas i denna kurs, med deras fysiska-och kemiska bakgrund. Tunnfilmbildning, filmstruktur och metoder för karakterisering förklarats, med särskild betoning på korrelation mellan deponeringsparametrar och resulterande materialegenskaper. Under föreläsningarna lär sig eleverna också vakuumsystem (inklusive system för drift och design) och fysikaliska processer i gaser. Dessutom blir några praktiska komponenter som CMOS-transistorer och lysdioder studerade i mer detalj.
Förutsättningar
- Grundläggande behörighet för avancerad nivå
Litteratur
"Introduction to Microfabrication" by Sami Fransilla (ISBN 978-0-470-74983-8, Wiley). Denna bok är huvudbok för kursen (finns tillgänglig som Ebook på Chalmers). Dessutom kommer PPT föreläsningspresentationer att levereras elektroniskt före motsvarande föreläsningarna.
Som referenslitteratur kan även följande 2 böcker användas; "Introduction to Microelectronic Fabrication" av R.C. Jaeger (Pearson Edu Ltd, London, ISBN 0-201-44494-7) liksom "The Materials Science of Thin Films" av M. Ohring (ISBN: 012524990x, 1992 finns som e-bok gratis via Chalmers bibliotek). Andra upplagan (ISBN 0125249756) kan också användas.
Liknande kurser vid andra universitet
Gör som 15 000+ studenter och ta kontroll över ditt tentaplugg.
Kom igång gratis